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測(cè)試與失效分析

Testing and Failure Analysis

3D光學(xué)顯微鏡

設(shè)備型號(hào):DVM6
針對(duì)各類(lèi)儲(chǔ)能業(yè)務(wù)需求,TIES力圖發(fā)展成為布局全面,面向市場(chǎng),集測(cè)試分析、失效分析、資質(zhì)認(rèn)證、技術(shù)開(kāi)發(fā)、工程放大、智能制造、高價(jià)值信息服務(wù)、高端培訓(xùn)為一體的研發(fā)型企業(yè)。 聯(lián)系我們

技術(shù)參數(shù)

  1. 目鏡:視場(chǎng)數(shù)22mm ,10倍,帶屈光度校正;

  2.物鏡:6位或7位電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)盤(pán),配接32mm直徑工業(yè)物鏡;

  3.聚光鏡:復(fù)消色差光路;

  4. 調(diào)焦系統(tǒng):2-齒輪高精度電動(dòng)調(diào)焦驅(qū)動(dòng)器


應(yīng)用范圍

形貌和微細(xì)結(jié)構(gòu)成像


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掃描電子顯微鏡(SEM)
技術(shù)參數(shù)二次電子分辨率:0.8 nm (加速電壓 15 kV) (標(biāo)準(zhǔn)模式,非任何減速模式下)1.1 nm (加速電壓 1 kV)(減速模式)放大倍數(shù):20 到 1000k         加速電壓:20-1000k電位移:±12μm(WD=8mm)光闌:4孔物鏡活動(dòng)光闌系統(tǒng):內(nèi)置自清潔裝置(孔徑30、50、50、100μm)探測(cè)器:低位(Lower)、高位(Upper)二次電子探測(cè)器、高位過(guò)濾背散射探頭信號(hào)選擇:二次電子像、背散射電子像、混合像快速換樣系統(tǒng):100mm直徑大樣品交換倉(cāng),換樣時(shí)間30秒真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng):日立原裝真空轉(zhuǎn)移系統(tǒng)能譜儀:布魯克60mm2能譜應(yīng)用范圍1、加速電壓減速功能,具有波長(zhǎng)較短、像差較小、分辨力高的一系列優(yōu)點(diǎn),降低樣品損傷的同時(shí),可以獲得低電壓高分辨的圖像。2、SE/BSE信號(hào)按比例接收功能,電鏡配有低位(Lower),高位(Upper)二次電子探測(cè)器,高位過(guò)濾背散射探頭,可以通過(guò)改變透鏡內(nèi)變換電極的電壓,讓檢測(cè)器捕捉到二次電子及背散射電子,以任意比例(100級(jí))混合,達(dá)到最 佳對(duì)比度的觀(guān)察,抑制荷電、邊緣效應(yīng),從而獲得對(duì)比度最 佳的SEM像。

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X射線(xiàn)光電子能譜儀(XPS)
技術(shù)參數(shù)1. 能量分辨率:Ag3d5/2峰位FWHM < 0.48eV;C1s譜中O=C-O峰位FWHM < 0.82eV 2. 最小x-ray 束斑:<10.0μm(x軸);<10.0μm (y軸) 3. Ar離子濺射槍最大束流:>5.0μA @5kV4. Ar離子/C60離子濺射槍差分氣壓:< 6.7x10-6 Pa (5x10-8Torr) 5. Ar氣團(tuán)簇離子槍的最大電流:>40nA @ 20kV 6. Ar氣團(tuán)簇離子最小束斑:500 μm @ 20 kV7. 樣品臺(tái)的冷熱性能:-140°C~800°C  應(yīng)用范圍無(wú)機(jī)化合物、合金、聚合物、能源電池、表面缺陷(腐蝕,異物,污染,分布不均等)、表面多層薄膜等

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